中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月，中科大前副院长朱士尧一句“美国造不出，中国就更不可能”，直接把光刻机话题推上了热搜。

有人骂他长别人志气、灭自己威风，也有人觉得他戳破了不切实际的幻想。

这话听着格外扎心，却也是半导体行业最残酷的现实。

全球顶级光刻机从来不是一个国家能单打独斗搞出来的，而是多国技术联手的成果，就算美国牵头也凑不齐全套技术，中国更不可能关起门来就把它造出来。

其实这句话不是最近说的，最早出自2021年2月的一次媒体采访，当时中美科技摩擦正处于紧张阶段，美国已经开始推动荷兰限制对华出口先进光刻机。

朱士尧作为物理学专家，研究相关领域多年，他说这话，并不是否定中国的能力，而是基于光刻机的实际情况，说出的大实话。

很多人都以为，光刻机就是一台普通的机器，只要有钱、有技术人员，就能造出来，可实际上，它的复杂程度远超所有人的想象。

现在最先进的光刻机，单台重180吨，里面有10万个零件，涉及光学、精密机械、材料科学等数十门顶尖学科，不是单一国家能独立完成的。

朱士尧说“美国造不出”，并不是说美国没有技术，而是美国就算再厉害，也没法单独造出最先进的光刻机。

目前全球能造最先进EUV光刻机的只有荷兰ASML公司，但这家公司也不是自己能造出所有部件，核心部件都来自全球各地。

EUV光刻机的核心光源，来自美国的Cymer公司，这种光源需要用激光每秒轰击5万次锡珠，才能产生13.5纳米的极紫外光，这种技术美国能研发，但没法单独量产。

而光刻机的光学镜头，全世界只有德国蔡司公司能造，表面平整度误差不能超过0.1纳米，这种精度，美国自己也做不到。

除此之外，光刻机的控制系统、精密传感器等关键部件，还需要日本、德国等多个国家的企业配合，美国就算有核心技术，脱离了全球供应链，也造不出完整的先进光刻机。

朱士尧正是看到了这一点，才说出那样的话，他的意思是，光刻机是全球协作的产物，美国都做不到脱离协作单独制造，中国目前自然也做不到。

这话在当时就引起了不小的波澜，很多人误读了他的意思，以为他是在泼冷水，否定中国研发光刻机的努力。

直到2024年9月，这段旧访谈被重新剪辑发布，再次刷屏，播放量超过百万，人们才开始重新审视这句话的含义。

其实朱士尧的话，针对的是最先进的EUV光刻机，而不是所有光刻机，他也没有否定中国在光刻机领域的进步。

中国并不是造不出光刻机，国内有一家叫上海微电子的公司，是中国大陆唯一能研发、量产前道光刻机的企业。

这家公司已经量产了90纳米的光刻机，主要用于功率器件、汽车电子等领域，2025年还交付了28纳米的光刻机，良率达到90%以上。

28纳米的光刻机虽然不是最先进的，但已经能满足大部分汽车芯片、工业芯片的需求，而且成本比ASML的设备低40%左右。

2026年，上海微电子还官宣，28纳米的光刻机已经进入中芯国际、华虹等企业的产线验证，很快就能批量供货。

除此之外，中国在光刻机的配套部件上也在逐步突破，比如光刻胶，2025年已经实现28纳米级光刻胶量产，不用再完全依赖进口。

福晶科技生产的激光晶体，占据全球六成份额，甚至已经成为ASML的供应商，这也是中国在光刻机领域的一个优势。

还有哈尔滨工业大学的团队，2025年攻克了EUV光源原型，虽然离商用还有距离，但已经迈出了关键一步。

很多人疑惑，既然中国已经有了这些突破，为什么还造不出最先进的EUV光刻机？其实答案很简单，就是差距确实存在，而且需要时间追赶。

ASML的EUV光刻机，是全球5000多家供应商共同协作的结果，英特尔、台积电、三星还联合向ASML注资，形成了深度绑定的生态。

这种模式，让ASML在EUV领域形成了垄断，其他国家想要追赶，不仅需要突破技术难关，还需要搭建自己的供应链体系，这不是短时间能完成的。

美国虽然能提供EUV的核心光源，但离不开德国的镜头、日本的部件，没法单独造出来；中国起步更晚，自然需要更多时间积累。

朱士尧的话，其实是一剂清醒剂，他不是否定中国的努力，而是提醒大家，研发光刻机不能急于求成，要尊重客观规律。

很多人太急于看到成果，一旦听到“造不出”的说法，就会情绪激动，要么否定一切，要么盲目乐观，却忽略了技术发展的客观规律。

光刻机的研发，不是一朝一夕的事，ASML从研发EUV原型机到实现商用，花了17年时间，投入了巨额资金。

中国从2010年代末才开始全力推进自研，目前能造出28纳米的光刻机，已经是很大的进步，想要追上ASML的水平，还需要几代人的努力。

而且美国一直在对中国进行技术封锁，2023年更是把管制扩展到了28纳米的DUV光刻机，荷兰也跟着限制出口，这让中国的研发之路更加艰难。

在这种情况下，中国只能走自主研发的道路，一步步搭建本土供应链，从基础部件做起，慢慢积累技术经验。

现在网上还有人争论，朱士尧的话是不是太绝对了，其实他的话，本质上是在强调全球协作的重要性，以及光刻机研发的难度。

他说“美国造不出，中国永远都不可能”，这里的“造不出”，指的是脱离全球协作体系，单独造出最先进的EUV光刻机，而不是说永远造不出任何光刻机。

随着中国在各个领域的突破，本土供应链越来越完善，上海微电子的技术也在不断进步，未来未必不能造出先进的光刻机。

只是这个过程会很漫长，可能需要十几年甚至几十年，不能急于求成，更不能盲目否定自己的努力。

总结下来，事情的经过就是这样：朱士尧在2021年的采访中，针对光刻机的全球协作特性，说出了那句引发争议的话。

这句话被误读多年，直到后来中国光刻机的进展逐步曝光，人们才明白他的真实意思，不是否定中国，而是提醒大家尊重技术规律。

中国目前能造出中低端光刻机，满足部分市场需求，在核心部件上也有突破，但离最先进的水平还有差距。

美国虽然技术先进，也没法单独造出最先进的光刻机，光刻机的研发需要全球协作，中国的追赶之路虽然艰难，但一直在稳步前进，不是永远都不可能造出先进光刻机。

现在，上海微电子还在推进更先进的光刻机研发，本土配套企业也在不断突破，相信只要坚持下去，总有一天，中国能在光刻机领域实现突破，打破国外的垄断。

而朱士尧的那句话，也会成为一个提醒，让我们在追赶技术的路上，保持清醒，脚踏实地，不骄不躁，一步一个脚印地往前走。