中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月中科大前副院长朱士尧一句话直接把光刻机话题干上热搜，当时这话一出直接炸锅，一半人骂他长他人志气灭自己威风，一半人说他戳破了很多人不切实际的幻想。这话听着扎心，可捋完整件事你会发现，它根本不是唱衰中国，反而点透了半导体产业最实在的本质。

全球顶级光刻机从来不是单个国家的独角戏，是全世界顶尖技术凑出来的大合唱，哪怕是美国牵头都凑不齐完整的阵容，更别说哪个国家关起门来自己搞定。一台顶级EUV光刻机重达180吨，里面装着十万多个零部件，背后要靠全球五千多家供应商技术支持，缺了任何一环都玩不转。

垄断全球EUV市场的荷兰ASML，自己都公开承认，离开全球供应链，他们连一台完整的EUV光刻机都造不出来。ASML要依赖德国蔡司的高精度反射镜，日本厂商的特种材料，还有美国的光源系统和控制软件，少一样都出不了成品。美国企业能提供55%的核心部件，可就是搞不定德国的光学系统，也做不出日本那成熟的特殊涂层。

这些技术真不是砸点钱就能弯道超车搞定的，德国蔡司磨了近一百年，才把反射镜的精度做到纳米级，日本企业在光刻胶领域攒了六十多年的经验，这份积累没人能一口吃成胖子。朱士尧自己在华为工作多年，又当过中科大副院长，太清楚半导体产业的复杂度了。顶尖光刻机牵扯到光学、机械、电子、材料几十个领域，每个领域都要熬年头，没有谁能凭一己之力啃下全链条。

从2019年开始，美国就不断推动荷兰限制对华出口先进光刻机，2023年直接全面禁止EUV光刻机卖给中国，2024年又把主意打到了DUV光刻机头上。后来美国国会还推出新的管制法案，想要彻底封杀所有浸没式DUV对华出口，直接锁死我们28nm、14nm产线的扩产空间。美国就是想掐断我们的设备供应，拦住中国芯片产业升级，保住自己的科技霸权，还砸了520亿美元搞芯片补贴，要求拿补贴的企业十年不许在华扩产先进制程，吃相真的很难看。

美国以为自己能掌控全局，却忘了光刻机从出生起就带着全球产业的属性。ASML最大的单一市场就是中国，中国市场占了它净销售额的36%，限制对华出口之后，ASML营收直接下滑，连带着德国蔡司和日本供应商都跟着受损失。美国这种强行拆分产业链的操作，反而倒逼全球半导体产业形成新的格局。更打脸的是，美国折腾这么久，自己也造不出一台完整的顶级光刻机。

英特尔花重金抢下ASML首台High-NA EUV光刻机，可根本复制不了ASML的全球供应链体系，也就只能放着看，造不出自己的货。美国自己智库的报告都承认，他们花了好几年织出来的封锁网到处都是漏洞，这些漏洞反而给中国芯片生产送了助攻，中国能拿到旧型设备生产先进AI芯片，封锁网早就快失效了。

我们没坐着等别人施舍，也没躺着喊口号，这么多年闷头干出了不少实打实的突破。上海微电子已经完成28nm浸没式DUV光刻机的百片晶圆流片验证，国产化率突破85%，今年就要启动首批商业化交付。90nm ArF光刻机已经实现稳定量产，给国内成熟制程稳稳托住了底。2026年4月安徽合肥的无尘车间里，国产EUV原型机已经能以每小时250片晶圆的速度稳定运转，这台机器的曝光系统、工作台等核心模块全都实现了国产化，虽然还没量产芯片，却已经标志着中国在高端光刻领域拿到了关键突破。

更让西方意外的是中科大张树辰团队研发的芯片自生长技术。这项成果2026年1月发在《自然》杂志上，简单说就是让芯片像晶体生长一样自动形成电路，直接绕开了传统光刻机的一大堆复杂流程。理论上它能做到1纳米以下制程，直接突破了现有光刻机的技术极限，还把上千道工序砍到了几十个，设备和成本都降了一大截。这完全就是开辟了一条全新赛道，直接跳出了西方设下的包围圈。

我们的突破也不是闭门造车熬出来的，走的是整合全球资源加自主研发的新路，我们通过技术合作、人才引进，在各个领域快速追赶。中芯国际等企业早就用多重曝光技术，靠着DUV光刻机实现了7nm芯片量产，直接打破了“没有EUV就造不出先进芯片”的神话。越来越多的全球厂商都看清了现实，美国的霸权行为本来就损害了全球产业链的安全，跟着美国卡脖子根本赚不到钱。

现在回头再读朱士尧那句话，绝大多数人一开始都理解错了。他不是说中国永远造不出光刻机，是在强调没有哪个国家能在全球化时代孤立发展高端产业，闭门造车根本走不通。中国的目标从来不是复制ASML的老路，我们就是要走出自己的路，要么啃下核心技术，要么开创全新路线，彻底摆脱对西方设备的依赖。这一个个突破就是最好的证明，我们从来没有停下脚步。

中国从来不幻想一步登天，就是脚踏实地一个一个解决技术难题，啃下一个又一个硬骨头。美国还在想着用霸权维持自己的技术垄断，我们已经悄悄在半导体领域开辟了新赛道，这场大国博弈的结局，早就已经在悄悄改变方向。中国半导体的崛起，靠的从来不是喊口号，是成千上万科研人员和企业没日没夜干出来的。我们承认现在还有差距，但绝不低头认输，我们尊重产业发展规律，但绝对不会认命。

等将来中国真正把光刻核心技术攥在自己手里，那一定是全球产业链合作的胜利，更是中国科技自立自强的里程碑。

参考资料：人民日报 中国半导体产业自主突破发展观察