北京
国家知识产权局信息显示，六智韬新能源科技（上海）有限公司申请一项名为“一种带屏蔽网的等离子体刻蚀装置及方法”的专利，公开号CN121839515A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明属于等离子蚀刻技术领域，且公开了一种带屏蔽网的等离子体刻蚀装置及方法，包括真空腔室、感应线圈、第一金属网箱和夹持部，所述感应线圈环绕设置在所述真空腔室外部，用于产生电磁场；所述第一金属网箱设置在所述真空腔室内部；所述夹持部设置在所述第一金属网箱内部，用于固定电池片；所述第一金属网箱与接地导体部连接，用于减弱其内部电磁场并阻挡带电粒子，同时允许不带电的气体粒子进入。本发明通过双层金属网箱屏蔽带电粒子，仅允许中性氟自由基进入内部刻蚀区域，使硅片表面形成圆滑的凹槽，避免尖锐凹槽，从而大幅减少表面缺陷，提升刻蚀均匀性。
天眼查资料显示，六智韬新能源科技（上海）有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本1176.4706万人民币。通过天眼查大数据分析，六智韬新能源科技（上海）有限公司专利信息23条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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