国家知识产权局信息显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请一项名为“晶圆检测设备及检测方法”的专利,公开号CN121843496A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本公开提供一种晶圆检测设备及检测方法,晶圆检测设备包括:晶圆载台,晶圆载台用于放置晶圆;检测镜组,检测镜组包括用于采集晶圆二维图像数据的二维图像采集装置和用于采集晶圆三维结构数据的三维图像采集装置;移动装置,移动装置与晶圆载台连接,用于调节晶圆的位置和角度;以及数据处理模块,用于接收二维图像采集装置采集的二维图像数据,提取表面异常区域,接收三维图像采集装置采集的三维结构数据,提取结构异常区域,并对表面异常区域及结构异常区域对应的二维图像数据与三维结构数据进行融合处理,实现晶圆异常分类,输出异常分类结果及可视化标注。晶圆检测方法应用于上述晶圆检测设备。
天眼查资料显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司,成立于2010年,位于厦门市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析,柯尔微电子装备(厦门)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息92条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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