上海
分享至
一、晶圆衬垫平面度：半导体制程的隐形关键
晶圆衬垫是晶圆制造中不可或缺的核心部件，其核心作用是通过均匀的真空吸附，牢牢夹持晶圆，保障晶圆在搬运、加工过程中稳定无位移。
衬垫的平面度直接决定了夹持力的均匀性，若衬垫各区域高度不一致，会导致晶圆受力不均，轻则引发晶圆弯曲、产生内应力，影响后续制程精度。因此，精准管控衬垫真空环的高度一致性与共面性，是保障晶圆装载机可靠性、提升制程良率的核心前提。
二、S neox 3D光学轮廓仪：纳米级检测晶圆衬垫平面度
使用10倍镜头测量晶圆衬垫三维轮廓图
使用SensoRRO Plugins插件分析
欢迎您关注我们！可拨打021-61400058，我们将竭诚为您服务！
声明：个人原创，仅供参考
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
