中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2026年4月，某高阶设备生产线上，国产EUV原型机正式投用试跑。这台机器每转动一个刻度，就能打破一项工艺封锁，每小时可稳定影印超过250块晶圆。它的成功试跑，标志着全球光刻领域旧有的单一秩序被彻底打破，中国在高端光刻设备领域实现了关键突破。

前几年，网上流传一个特别扎心的观点，出自中科大一位前副院长之口。他说了句啥呢？“美国都造不出光刻机，中国永远都不可能造出来。”

这话当时一出，基本上等于给很多热血网友泼了一盆冷水。很多人心里都在打鼓：难道咱们真被“判了死刑”吗？

这事儿到底是技术真不行，还是这位专家说话太绝对了？今天咱就把这事儿掰开揉碎了聊一聊，看看这几年到底发生了什么变化。

先说清楚，这位副院长当年为什么会说出这么“绝对”的话。你要回到当时的语境里，他说的其实不是没有道理。

很多人对光刻机有个误解，觉得它像一台打印机，图纸放进去，“唰”的一下芯片就出来了。大错特错。这东西的复杂程度，已经超出了普通工业产品的范畴。

一台顶级光刻机重达一百八十吨，需要波音747这种级别的货机来分体运输，里面集成了十万多个零部件，来自全球五千多家供应商。

换句话说，荷兰的ASML虽然牛，但它其实是个顶级“包工头”。它的机器里，那套能把光线精度控制到头发丝几千分之一的镜头，得靠德国蔡司花几十年磨出来；那个提供光源的系统，核心技术在美国手里；那些特殊的化学材料，日本和韩国做得最好。

这就引出了一个很残酷的现实：即便是科技最牛的美国，如果把它关起门来自己搞，它同样造不出这种顶级光刻机。因为它也需要德国镜头、需要瑞典的轴承。

在这种背景下，朱院长当时的结论就很清晰了：在一个全球化深度耦合的产业里，没有一个国家能脱离供应链单独造出这个东西。

既然美国都搞不定全产业链，那咱们当时技术底子薄、起步晚，想凭一己之力“逆天改命”，在当时的条件下看，确实像天方夜谭。

这种论调在当时其实很有市场，因为那种技术代差带来的绝望感是实实在在的。咱们得承认，在很长一段时间里，国内的科研人员甚至连高精度的镜头镀膜材料都搞不定，实验室里的设备和人家工厂里的量产设备差着好几代。

到了2022年左右，情况就更难了，美国开始搞封锁，不仅不卖最先进的极紫外光刻机给你，连稍微高端点的深紫外光刻机也要禁运。

那时候很多人觉得，完了，这不仅是“卡脖子”，这是直接把咱们的呼吸机给拔了。但也正是这种封锁，把咱们最后一点“买办”的幻想给打掉了。

既然你不卖，那咱们就只能自己从零开始硬啃。这就好比当年造原子弹，苏联专家撤走了，咱们反倒炸响了。虽然光刻机比原子弹涉及的产业链更广，但这股子劲儿是相通的。

时间来到2024年和2025年，事情开始有了微妙的变化。最直接的证据就是，国家工信部在2024年9月发布了一个重大技术装备推广目录，里面清清楚楚地列着一种叫“氟化氩光刻机”的设备。

这名字听着拗口，但懂行的人一看参数就明白了，它的分辨率达到了65纳米，套刻精度在8纳米左右。懂行的朋友可能知道，这和ASML在2015年左右出货的某款中端设备水平差不多。

如果你只看这个数字，可能会觉得泄气，折腾了这么久，才到人家十年前的水平？但账不能这么算。

更重要的是，中国在2025年还憋了一个“大招”。上海微电子在2025年底交付了首台28纳米节点的深紫外光刻机。注意，这里说的是交付，是实实在在能用的机器。

28纳米这个节点特别关键，因为全球百分之七十以上的芯片，比如车规级的MCU、物联网芯片、各种电源管理芯片，都是这个制程。这意味着咱们在最主流的工业市场上，终于不用再看别人脸色了。

而且，不光是成熟制程，高端光刻机领域咱们也没落下。高端光刻机的核心是极紫外光源，相当于光刻机的“心脏”，长期被国外垄断。

但2025年，合肥发布了国内首台极紫外波段物质吸收谱台式化仪器，这标志着咱们在极紫外光源技术上终于实现了关键突破。

更劲爆的是，根据《路透社》的调查，在深圳一个由中央科技委监管的安全设施内，中国的工程师已经成功启动了一台极紫外光刻原型机。

这台机器被外界称为中国芯片版的“曼哈顿计划”，由华为作为核心系统整合商，集中了国家力量来攻关。

虽然这台机器目前还没造出能上市销售的芯片，但它的存在本身就说明，美国精心构筑的技术壁垒正在被逐步瓦解。据业内人士预计，国产EUV的量产时间点可能落在2028年到2030年之间。

当然，咱也得实事求是，虽然进步巨大，但差距依然存在。就在咱们原型机启动的同时，ASML在2026年初已经全面进入了High-NA高数值孔径的量产时代，能造1.4纳米的芯片了。

他们那售价高达3.5亿欧元一台的机器，现在正被英特尔、三星、台积电疯抢。从65纳米到1.4纳米，这中间大概还有十年左右的研发代差。

而且，咱们现在虽然突破了光源和样机，但在高精度光学镜头、系统集成稳定性和良率控制上，跟德国蔡司、荷兰ASML这种百年老店比起来，还得继续埋头苦干。

但最重要的是，现在的心态跟几年前已经完全不一样了。以前是“望尘莫及”，现在好歹是“望其项背”了。

以前说造不出来，是因为在全球化的温床上，谁都不想投入巨资去从零研发；现在之所以能一步步突破，是因为被逼到了绝路上，反而激发了全产业链的斗志。

现在的路子走得很对，不盲目去追那最后1%的顶尖技术，而是先把那99%的中端市场吃透，把产业链的每一环都打磨成熟。

虽然前路依然充满荆棘，但在2026年的今天，已经有底气说一句：中国不仅需要光刻机，中国也正在造出属于自己的光刻机。

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