从“门外汉”到“罗大师”

身处数字时代，芯片在我们生活中随处可见。小到手机、电脑、身份证、银行卡等日常用品，大到互联网、云计算、大数据等领先科技，无不以芯片的进步作为支撑。在只有一枚指甲盖大小的芯片上，密布着上万米金属导丝，它们甚至比头发丝的千分之一还要细。靠人工去焊接显然不现实，制作这些布线的唯一方法就是用高纯度金属靶材通过溅射的方式去完成。

作为浙江宁波江丰电子材料股份有限公司首席技师，罗明浩深耕半导体材料设备及工艺研究20多年，他主导了我国第一条超大规模集成电路用靶材生产线关键设备的设计与制作，打破了国外技术垄断。从一名普通电工到全国劳动模范、最美职工，罗明浩始终以工匠之心锤炼劳动技能。

罗明浩用“懵懵懂懂”来形容自己初入行的感受。2005年，电工出身的罗明浩加入江丰电子。彼时，我国芯片制造所需的超高纯材料和溅射靶材均依赖进口，从原料到设备近乎一张白纸。“第一次接触‘靶材’概念，连听都没有听说过。”罗明浩告诉记者，没有专家指导，也无资料参考，他只能和团队从零开始，一个环节一个环节去研究。

靶材生产需要经过锻打、压延、热处理等多道工序，对炉温控制要求极高。为了保证1摄氏度的温差，罗明浩和同事们先后设计了12套方案，画了几百张图纸，不断改进炉腔风道走向、风机旋转方案和扇叶选型，逐一攻克系列难题。

凭借在电机焊接、机器维修、设备改造等方面的积累，罗明浩结合半导体靶材设备需求自制了300余套国产设备，节约成本上亿元。如今，由他主导设计的超大规模集成电路用溅射靶材生产线关键设备所生产的产品，已被成功应用到世界一流企业的先进制程。

“靶材能自己生产，但靶材的原料仍然依赖进口，成本压力可想而知。”罗明浩介绍，制造靶材的金属铝纯度需要达到99.9999%，而普通金属一般只能达到99.8%，尽管差距只有0.19%，但价值却相差几十倍。2011年，为突破原材料局限，江丰电子在厂房内单独开辟出一个金属精炼铸造室。有了场地，罗明浩便开始全身心地投入新课题的研究。

铸造过程中，各类金属元素之间存在错综复杂的关系。为了找到元素间的平衡，将含量控制在标准内，罗明浩和同事们四处寻找合适的设备材料。2015年，国内第一个高纯铝精炼铸造系统开始运转，再次打破了国外的技术垄断。

掌握了金属精炼铸造工艺，罗明浩并未感觉“大功告成”。在他心中，始终有个“隐痛”无法释怀。为了检测金属是否达到纯度，江丰电子从国外进口了尖端大型分析仪器。但机器初到中国就“水土不服”。由于设备复杂、精密程度高、维修难度大，只有个别外国专家掌握这项技术，聘请他们过来维修花费高、周期长。“外国人行，中国人就不行？”罗明浩选择继续迎难攀高，他要与国外顶尖专家“一试高下”。从此，罗明浩在检测室里安了家。经过半年摸索和研究，他终于把这台高精尖仪器恢复到正常水平，完全适应了中国现场的要求，并顺利检测出金属纯度十亿分之一的微量元素，为达到半导体靶材对纯度的极高要求打下了扎实的基础。

“我始终坚信，一双沾满机油的手，也能托起中国芯。一颗扎根一线的匠心，同样能点燃科技自强的星火。”从材料制备到靶材生产再到分析检测，罗明浩从一名对靶材毫无了解的“门外汉”蜕变为行业内响当当的“罗大师”，他用20多年的追赶和超越诠释了对工匠精神的坚守。

“江丰电子的成功，既有‘老师傅’经验凝练的工艺口诀，也有‘90后’技术员数智重构的生产逻辑。”如今，罗明浩把目光聚焦到培养年轻技术人员身上。“科技自主创新之路不是单人百米冲刺，而是代代接力的马拉松。”在罗明浩看来，制造业的变化日新月异，需要更多有见识、有恒心、有毅力的年轻人，将所学知识和技术转化成生产力。正是这种传统与创新的激荡交融，让半导体材料的品质在淬炼中越发精进。（经济日报记者 康琼艳）