国家知识产权局信息显示,北京镓创华芯科技有限公司申请一项名为“一种用于p型β-Ga2O3薄膜的退火工艺”的专利,公开号CN121781287A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体材料制备技术领域,尤其是涉及一种p型β‑Ga2O3薄膜的退火工艺。该工艺包括:提供衬底;在所述衬底上形成p型β‑Ga2O3薄膜;将所述p型β‑Ga2O3薄膜在含氧气氛中进行退火处理,所述退火处理的温度为500℃~900℃,时间为10min~120min。本申请提供的退火工艺,能够有效提高p型β‑Ga2O3薄膜的结晶质量,降低薄膜中的缺陷密度,改善薄膜的电学性能。
天眼查资料显示,北京镓创华芯科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,北京镓创华芯科技有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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