上海
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“冷却结构及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202520696666.9，授权日为2026年4月3日。
专利摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了冷却结构及化学气相沉积设备，冷却结构用于冷却磁流体密封组件，磁流体密封组件包括旋转电机及从轴心由内至外依次设置的内轴套、外轴套和基座轴套，内轴套和外轴套之间设有第一磁流体结构，外轴套和基座轴套之间设有第二磁流体结构，旋转电机驱动外轴套旋转，基座轴套一端密封连接被密封件；冷却结构包括开设于内轴套内部的多条第一水冷流道，多条第一水冷流道均连通外部水冷系统，多条第一水冷流道之间相互连通，第一水冷流道用于冷却第一磁流体结构。本实用新型的冷却结构对双轴式磁流体密封组件内侧的第一磁流体结构提供更好的冷却性能，降低内部磁液蒸发风险，保证化学气相沉积设备的工艺可靠性。
今年以来晶盛机电新获得专利授权27个，较去年同期减少了28.95%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。
通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目225次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1128条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。
数据来源：天眼查APP
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