国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“激光退火扫描方法及装置”的专利,公开号CN121772622A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种激光退火扫描方法及装置,采用回字形进行迂回激光退火扫描,可有效避免晶圆边缘热积累效应问题,进一步的,本发明通过对回字形扫描路径的控制,还可在避免晶圆边缘热积累效应的同时解决晶圆残余应力分配不均的问题,从而可有效解决激光退火均匀性的问题。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目181次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息1003条,此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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