德国Mlase准分子激光器MLI-KrF-500-HP-AC

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公司简介：

MLase激光器是一家总部位于德国的高科技企业，成立于 2007 年。Mlase准分子激光器MLI-KrF-500-HP-AC紧凑型准分子激光器用于工业，广泛产品组合包括各种根据性能、可靠性和精度区分的激光系统。MLase准分子激光器MLI-KrF-500-HP-AC涵盖了所有典型波长（193nm，248nm，308nm），脉冲能量高达200mJ以上或脉冲重复频率高达1,000 Hz。

产品介绍：

MLase工业应用的MLase准分子激光器MLI-KrF-500-HP-AC

MLase激光器服务于广泛的工业过程。通过模块化设计方法，MLase准分子激光器为每个系统量身定制，以满足特定的客户需求，提供：

波长：193nm，248nm（其他波长可定制：157nm，308nm，351nm）

水冷选项

重复频率高达1 kHz

MLase准分子激光器工业应用高度多样化。通过模块化系统支持它们，以满足所有个体需求。MLase准分子激光器根据波长（193nm、248nm、308nm），有或没有水冷却，并且目前脉冲重复率可达1 kHz。

根据配置（带或不带水冷），它们非常紧凑，尺寸为560mm x 355mm x 445mm（不包括突出部分）。

产品应用：
MLase准分子激光器MLI-KrF-500-HP-AC的典型工业应用包括：

光纤布拉格光栅 (FBG) 的写入

光学检查和计量，例如测试微光学。

激光结构化和划线

对陶瓷、金属或塑料等材料进行微加工

激光 ablation/脉冲激光沉积 (PLD, ICP-MS)

在半导体制造中用于检查掩膜或直接晶圆处理

在连续操作应用中，MLase准分子激光器已被证明特别耐用。MLase准分子激光器保证在需要更换光学元件之前，能够承受数亿次激光脉冲。

应用领域

MLase准分子激光器产品广泛应用于以下领域：

半导体与光刻：用于光刻掩模的检查、刻写以及微加工工艺。

材料加工：包括钻石雕刻、微机械加工、光谱学实验以及精密传感器的制造。

科研实验：用于分析仪器、光谱仪以及各种需要紫外光源的科学实验。

工业激光加工：如高精度的切割、打标以及微细结构的制作

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