北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于不对称晶圆弯翘补偿的交错多区域气体分配”的专利，公开号CN121729523A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，装置包括流体连接至第一气体入口并在第二方向上延伸的第一气体通道、在第二方向上延伸与第一气体通道间隔并流体连接至第二气体入口的第二气体通道、流体连接至第一气体通道的第一气体分配端口、以及流体连接至第二气体通道的第二气体分配端口，其中至少一个第一气体入口与第二气体入口流体分离，且至少部分第一气体分配端口与至少部分第二气体分配端口相对于第二方向以交替方式布置。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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