北京
国家知识产权局信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司取得一项名为“一种过渡冷却机构及晶圆加工设备”的专利，授权公告号CN224034130U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种过渡冷却机构及晶圆加工设备。其中过渡冷却机构包括过渡壳体、冷却组件和上盖组件。过渡壳体设置有过渡腔，过渡腔的进口用于连接传输腔的出口；冷却组件包括冷盘，冷盘设置于过渡腔内，冷盘用于承载晶圆；上盖组件包括驱动部件和上盖，上盖位于过渡腔内且位于冷盘的上方，驱动部件连接于过渡壳体的顶壁且驱动连接于上盖，驱动部件用于驱动上盖升降，以使上盖和冷盘之间形成用于冷却晶圆的密闭冷却腔。过渡冷却机构与传输腔为分体结构，二者可独立加工，减小了传输腔的体积，进而降低材料要求和材料加工量，而且，过渡冷却机构连接传输腔的出口，不占用传输腔侧壁的传输接口，利于工艺腔的空间布局。
天眼查资料显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司，成立于2011年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡邑文微电子科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目160次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息375条，此外企业还拥有行政许可33个。
江苏邑文微电子科技有限公司，成立于2018年，位于南通市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3333.33万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏邑文微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息225条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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