北京
国家知识产权局信息显示，河南百合特种光学研究院有限公司申请一项名为“一种多波段大视场反射式投影光刻系统”的专利，公开号CN121704137A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及光学系统技术领域，公开了一种多波段大视场反射式投影光刻系统，包括照明组件和位于照明组件侧方的物镜组件，光束依次经过照明组件、物镜组件后入射到基板的光胶上；照明组件包括沿光束传播方向依次设置的第一照明透镜、第二照明透镜、光棒、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照明透镜、第六照明透镜和第七照明透镜以及倾斜设置的第一反射镜，第一反射镜位于第七照明透镜的下方；物镜组件包括的第一透镜、第二反射镜、第三反射镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜。本发明的多波段大视场反射式投影光刻系统，第二透镜、第三透镜和第四透镜重复利用，减少了物镜的数量，物镜组件的曝光视场面积大于等于210mm*105mm，曝光面积大。
天眼查资料显示，河南百合特种光学研究院有限公司，成立于2016年，位于新乡市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1570.9636万人民币。通过天眼查大数据分析，河南百合特种光学研究院有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息96条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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