北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种进气系统、半导体工艺设备和半导体掺杂方法”的专利，公开号CN121653596A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请提供了一种进气系统、半导体工艺设备和半导体掺杂方法，进气系统包括：进气管道，与反应腔室连接并导流辅助启辉气体；第一控制组件包括：用于检测和控制辅助启辉气体流量的流量控制器；位于流量控制器出气侧且控制进气管道通断的第一通断阀；第二控制组件，位于第一通断阀的出气侧，包括：储存辅助启辉气体的容器；设置在容器出气侧且控制进气管道通断的第二通断阀；第一通断阀和第二通断阀不同时导通进气管道；在第二通断阀打开时，容器中为第一预设压力，反应腔室中为小于第一预设压力的第二预设压力。其中，辅助启辉气体利用压差进入到反应腔室中，仅通过第二通断阀控制即可实现，避免控制延时和控制误差的出现，多次进气的一致性更好。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1393次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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