国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种进气系统、半导体工艺设备和半导体掺杂方法”的专利,公开号CN121653596A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本申请提供了一种进气系统、半导体工艺设备和半导体掺杂方法,进气系统包括:进气管道,与反应腔室连接并导流辅助启辉气体;第一控制组件包括:用于检测和控制辅助启辉气体流量的流量控制器;位于流量控制器出气侧且控制进气管道通断的第一通断阀;第二控制组件,位于第一通断阀的出气侧,包括:储存辅助启辉气体的容器;设置在容器出气侧且控制进气管道通断的第二通断阀;第一通断阀和第二通断阀不同时导通进气管道;在第二通断阀打开时,容器中为第一预设压力,反应腔室中为小于第一预设压力的第二预设压力。其中,辅助启辉气体利用压差进入到反应腔室中,仅通过第二通断阀控制即可实现,避免控制延时和控制误差的出现,多次进气的一致性更好。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1393次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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