北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“实时自校准的半导体红外测温装置及其控制方法”的专利，公开号CN121612424A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体红外测温技术领域，提供一种实时自校准的半导体红外测温装置及其控制方法。该装置的光学前端单元包含旋转驱动机构和位于测温光路中的旋转滤光轮，其上设有测量滤光片、已知衰减率的校准衰减片和黑体参考片；控制单元驱动旋转滤光轮依次切换三者进入光路；信号处理单元将调制后的光信号转换为对应的第一、第二、第三电压信号，基于第一和第二电压信号及已知衰减率计算光路实时总透过率，并结合第一信号对第三信号补偿，再依据预设电压‑温度映射关系输出校正温度值。本发明用于在半导体制造中对晶圆或腔体进行抗污染干扰的非接触式在线测温，提升了检测精度以及半导体工业现场长期使用中的稳定性与可靠性。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息90条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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