国家知识产权局信息显示,楚赟精工科技(上海)有限公司取得一项名为“基片载体”的专利,授权公告号CN223974201U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种基片载体,基片载体的承载区包括在所述基片载体的顶面沿同一周向开设的若干凹穴,同一周向的若干凹穴组成一凹穴组,各所述凹穴的边部开设有槽结构,凹穴包括用于支撑所放置基片的内部承载面,槽结构围绕所述内部承载面设置。由于气流流经基片载体表面温度升高,在流经相对较低温度基片的过程中气流温度逐渐降低,该过程过程加剧基片的温度不均匀性,在内部承载面和槽结构的底面之间形成有倾斜于所述内部承载面的侧壁,内部承载面和侧壁所围结构的外径沿内部承载面指向槽结构底面所在区域的方向减小,能够通过该倾斜的侧壁和凹穴底部共同补偿基片顶面的传热温场,有利于基片的温度均匀性。
天眼查资料显示,楚赟精工科技(上海)有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,楚赟精工科技(上海)有限公司参与招投标项目40次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息97条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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