北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于束偏转驱动器的高速高压全差分功率放大器”的专利，公开号CN121605500A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本公开提供了一种用于驱动带电粒子检查设备的偏转器的偏转器驱动器。偏转器驱动器可以包括被配置为生成绝对值大于100V的全差分输出的全差分放大器。其中全差分输出可以使得偏转器的多个偏转器电极能够基于全差分输出来影响带电粒子检查设备的带电粒子束。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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