北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“片盒开门装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121604767A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种片盒开门装置及半导体工艺设备。片盒开门装置包括隔离体、开门组件、至少一个开门驱动组件和密封结构，隔离体设置有传输口。开门组件用于在取放位置取出或放回片盒的门板，并能够携带门板在取放位置和初始位置之间移动。壳体中设置有至少一个封闭的容纳腔，开门驱动组件一一对应地密封于容纳腔中。开门驱动组件包括位于容纳腔内的旋转驱动件和贯穿壳体的传动件，密封结构被设置为密封传动件在壳体上的贯穿位置。传动件用于将旋转驱动件的旋转动力传递至开门组件，以使开门组件沿预设直线方向穿过传输口并在初始位置和取放位置之间移动。本申请能够降低颗粒进入两个功能室的风险，减少晶圆所处环境中的颗粒数量。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1388次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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