北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于抛光液体传输臂的清洁系统”的专利，公开号CN121572174A，申请日期为2021年6月。
专利摘要显示，公开了用于抛光液体传输臂的清洁系统。一种抛光组件包括：用以支撑抛光垫的能够旋转的工作台；抛光液体传输臂，具有在底部处开启的围护件，和一个或更多个端口，以传输抛光液体和清洁流体向下通过围护件的内部空间至抛光垫上；以及传输臂清洁工具，可移除地附加至抛光液体传输臂，清洁工具在传输臂下方延伸，且具有面向传输臂的表面，被塑形使得清洁工具从抛光液体传输臂引导清洁流体至抛光液体传输臂的围护件的表面上。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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