北京
国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“一种边缘环平整度检测装置”的专利，授权公告号CN223954906U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本申请提供了一种边缘环平整度检测装置，应用于气相沉积腔室，所述气相沉积腔室包括基座和位于所述基座边缘的边缘环，所述基座内设置有加热器，用于对所述基座进行加热，所述边缘环平整度检测装置包括：检测主体，和环绕所述检测主体边缘的接触指示结构；其中，所述检测主体沿垂直方向的投影与所述基座沿垂直方向的投影重合；位于所述检测主体上的定位旋转装置，所述定位旋转装置用于将检测主体定位至所述基座背离所述加热器的一侧的预设位置，在所述预设位置处，所述检测主体的外缘与所述基座的外缘相匹配；并在该预设位置旋转所述检测主体。本申请实施例能够检测边缘环的平整度，从而提高基板薄膜沉积的沉积效果。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目276次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息574条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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