国家知识产权局信息显示,浙江端景光学科技有限公司申请一项名为“一种V型走向体光栅批量曝光装置及曝光控制方法”的专利,公开号CN121559657A,申请日期为2025年5月。
专利摘要显示,本申请公开一种V型走向体光栅批量曝光装置及曝光控制方法。曝光装置包括:光源、分束器、第一反射镜、第二反射镜、传输装置及载物台,所述传输装置包括第一传输部件及第二传输部件,其组合呈V型,载物台设置于所述第一传输部件及第二传输部件的端部侧并处于曝光区域,所述载物台用于承载待曝光的具有光敏材料的样品,所述第一反射镜及所述第二反射镜设置于所述载物台侧,所述光源经所述分束器分别两束相干光:第一相干光及第二相干光,其中,第一相干光经所述第一反射镜反射后落于所述载物台上,第二相干光经所述第二反射镜反射后落于所述载物台上,利用两束相干光对其曝光。采用V型走向的传送装置可进行批量曝光。
天眼查资料显示,浙江端景光学科技有限公司,成立于2023年,位于湖州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江端景光学科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息6条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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