河北
电子工业洁净厂房的微振控制，是保障电子产品生产精度、维护作业人员安全与舒适度的关键环节。需整合厂房设计、设备选型、施工投产全流程，建立科学的控制标准与落地措施，确保各项振动指标满足生产及安全管控要求。
一、微振控制设计要求
洁净厂房微振控制设施的设计，需贯穿设计、施工、投产全过程，重点覆盖振动测试、建筑结构控振、动力设备隔振及精密仪器隔振等核心内容，保障微振控制效果达标。
具备微振控制需求的洁净厂房，需严格执行以下要求：总平面规划时，需排查相邻厂房及建筑物对精密设备、仪器的振动干扰，规避外部振动影响；放置精密设备的洁净厂房，其建筑基础、结构选型、隔振缝设置及室内装修，均需契合微振控制标准；对精密设备存在振动影响的动力设备及管道，需落实主动隔振措施；若精密设备经测试确认受周边振动干扰，需及时采取被动隔振处理。
二、容许振动值与微振控制实施细节
微振控制设计需结合精密仪器、设备的自身特性，采用综合隔振手段，确保振动值符合容许标准。精密设备及仪器的容许振动值，可通过时间域或频率域的振动加速度、速度、位移等物理参数进行界定。
微振控制设计需分四个阶段开展振动测试分析：场地环境振动测试与分析、厂房建筑结构振动特性测试与分析、精密设备安装点位环境振动测试与分析、微振控制最终效果测试与分析。
对振动强烈的设备及管道，优先采用主动隔振措施，选用适配的隔振台（座）及刚度合理的隔振器，通往洁净室（区）的管道需设置隔振支（吊）架及柔性连接件；洁净室内精密设备的被动隔振设计，需保证隔振台（座）刚度达标，采用低刚度隔振设施，确保隔振系统各向阻尼比不低于0.15，同时做好倾斜校正，避免隔振设施影响气流流型；若采用空气弹簧隔振器，其供气系统需进行净化处理，确保符合对应洁净室空气洁净度等级。
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