美专家：中国人不可怕，可怕的是他们买光刻机却不是用来生产芯片

文 |朝子亥

本文为深度观点解读，仅供交流学习

今年年初，美国再次更新了对华芯片出口管制措施。

而就在美国忙着协调盟友、收紧政策口径的时候，塔夫茨大学教授克里斯·米勒的一个观点却让让五角大楼很难接话：中国人不可怕，可怕的是他们买了光刻机，却根本不急着拿来造芯片。

米勒不是那种靠喊口号刷存在感的“中国通”，他2022年出版的《芯片战争》被白宫直接拿来当政策参考，ASML高管去国会作证时，议员们手里翻的书页就出自他笔下。

当西方大多数人还在想“只要卡死EUV就能拖住中国”的时候，米勒看得更清楚：中方早就调整了思路，而且这个思路带来的压力比单纯追赶产能更大。

米勒警告的“含金量”，咱中国采购光刻机的方法

克里斯·米勒能在西方产业界引发如此大的震动，恰恰因为他既不亲华也不反华，就是个拿史料和数字说话的学者。

塔夫茨大学历史学教授、美国外交政策研究所欧亚区主任，他研究芯片是从地缘、经济、产业史三个维度分析。

2022年《芯片战争》出版后，英国《金融时报》和《经济学人》都把它评为年度最佳图书，白宫后来的协同管制框架，核心逻辑就是从这本书里扒的。

米勒的观点过去四年一直在被验证。

2022年他说“中国买光刻机可能不是为了扩产”，荷兰官员还觉得这是阴谋论。2023年中国从ASML进口额单季冲到49%，大量设备被送进科研机构而不是晶圆厂。

2024年他在YouTube讲座里甩出一张图，2020到2023年中国光刻相关专利注册量增长约150%，弹幕直接炸了。他不是在预言，他是在翻译中方已经摆出来的事实。

米勒的逻辑其实很朴素：一个能用三四年把高铁从引进变成出口的国家，不可能在面对光刻机这种工业皇冠时只想着“买来用”。

西方盯着中国有没有造出EUV，中国盯着的是从光源到镜头、从工作台到双工件台的全套技术树。设备只是载体，技术才是猎物。

咱们直接看ASML这几年的销售数字。

2024年ASML全年净销售283亿欧元，中国市场贡献了101.95亿欧元，占比36.1%。这个数字比2023年的29%又往上窜了一截。

更关键的是，2023年第三、第四季度，中国市场占比曾连续飙到46%和49%，十台光刻机有五台运往中国。

可问题是，当时中国在建的晶圆厂根本吃不下这个量。

美国情报部门最早发现不对劲。他们对着卫星图数产线，再把ASML的发货单叠上去，发现设备数量和产能之间明显对不上。

一部分光刻机压根没进厂房，直接进了研究院所。

更让美国愤怒的是，从2025年开始，中国企业不仅从ASML买新机，还跑到韩国、日本扫货，成批往回搬二手市场的老型号DUV。旧设备做不了7纳米，但拆起来不心疼。

中芯国际对外解释过，说采购DUV是为了维持28纳米以上成熟制程，满足国内汽车、家电的芯片需求。

这话没毛病，但只解释了冰山一角。真正的动作藏在实验室里：中芯在北京、上海的研发中心，这几年添置了好几条“研发专用线”，光刻机连轴转不是为了出货，是为了跑工艺参数。

多重曝光怎么调，套刻精度怎么压，光刻胶怎么配比，这些都是在DUV上一遍遍试出来的。

西方半导体协会后来发过一份匿名报告，说中国某些研究机构采购的DUV光刻机，年均运行小时数远超正常生产负荷。生产是八小时三班倒，研发是二十四小时不关机。

咱中国的光刻机研发路线，取得的成果

米勒所说的“非生产性用途”，实际上指向中国半导体产业正在推进的三条并行技术路线。

其中一条路线是逆向工程与核心技术解析。

这项工作绝非外界传闻的“简单仿制”，而是由上海微电子、中科院光电所及多家民营设备公司分工协作。

ASML的设备之所以难以复制，恰恰在于它集成了德国光学、美国光源、瑞典精密机械等多国技术结晶。

咱中国企业采取的是分模块突破、逐个啃硬骨头的策略，二手设备的优势在于拆解成本低、可反复试验，一旦某个子系统被读懂，就意味着国产光刻机的短板被补上一块。

还有一条路线是工艺研发与技术验证。 光刻机只是工具，真正决定芯片制程水平的，是使用工具的方法。

同样的DUV设备，台积电能做出7纳米，而其他厂商止步于28纳米，差距就在于工艺积累的厚度。

中芯国际近几年在进口DUV上进行了大量工艺实验，涉及浸润式光刻、多重曝光、自对准四重图形等技术方向。

2025年9月，中芯开始测试国产DUV光刻机，其工艺参数正是从这批进口设备上反复调试而来。

先通过成熟平台跑通工艺，再将工艺经验反哺给国产设备，这是已经被高铁、光伏等产业验证过的技术追赶路径。

最主要的一条路线，就是专利和知识版权。 2024年中国半导体专利申请量占全球约35%至40%，连续多年位居第一，2018至2023年专利总量增长150%。

光刻领域尤其密集，从镜头设计、工件台控制到光刻胶配方，几乎覆盖了设备制造的各个关节。

西方企业过去惯用专利壁垒阻挡后来者，而中国企业正在用等量的专利申请量将这些壁垒一一软化。

一个更隐蔽但更具长远威慑的局面正在形成：一旦西方未来放松管制，会发现几乎所有可行的技术替代路径周边，都已布满中国企业的专利。

届时，不是咱中国需要向西方购买授权，而是西方需要与中国进行交叉许可。

这些年在实验室里憋着的那股劲，现在已经能看见苗头了。

上海微电子的后道封装光刻机，国内市场占有率接近九成，全球份额也摸到15%。这块过去被ASML和尼康把持的市场，硬是被撕开一道口子。

2025年9月，中芯国际开始测试上海宇量昇制造的国产DUV光刻机，浸没式技术，28纳米工艺能跑通，通过多重曝光甚至可以试产7纳米芯片。

EUV那边，核心部件的光源、工件台都拿到了阶段性突破。虽然离量产还远，但代差已经从“望尘莫及”缩到“能望见尾灯”。

更关键的是配套产业链：2025年国产KrF光刻胶自给率提到35%，ArF光刻胶超过20%，以前被日本卡着脖子的材料，现在有了自己的备份。

米勒在书里写过一句话：半导体产业的全球化是被美国亲手拆掉的。

当年ASML能成为EUV垄断者，靠的是台积电、三星、英特尔三家共同注资，靠的是德国蔡司、美国Cymer的技术整合。

现在美国逼着盟友对华脱钩，结果是中国开始搭建一套完全独立于西方的半导体供应链。这套链现在还粗糙，但每封锁一年，它就完善一分。

西方总爱问“中国什么时候能造出EUV”。其实问错了问题。真正的问法是：当中国不再需要进口ASML时，全球半导体产业会变成什么样子？

那一天当然还没来。EUV量产的难度不亚于造一艘太空飞船，高端光刻胶、精密光学镜片、极紫外光源这些硬骨头，还得啃很多年。

但方向已经定了，设备进实验室，技术进专利库，人才进产业链。

米勒那句“中国人不可怕，可怕的是他们买光刻机不是为了生产”，说的就是这个方向。

读者朋友们，你们觉得西方这套“边封锁边做生意”的策略，还能撑几年？如果中国真的在五年内突破中高端DUV自主量产，全球芯片市场会迎来怎样的洗牌？评论区聊聊。

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参考资料：
光刻机国产化不断提速，国产设备龙头中标1.1亿元光刻机项目
2025-12-26 16:40·红星新闻