国家知识产权局信息显示,无锡琨圣智能装备股份有限公司取得一项名为“一种真空干燥槽及具有该真空干燥槽的真空烘干系统”的专利,授权公告号CN223925256U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种真空干燥槽及具有该真空干燥槽的真空烘干系统,所述真空干燥槽包括上方开口的槽体、设置于槽体上方且可相对于槽体翻转的槽盖以及驱动槽盖相对于槽体翻转的翻转机构,所述槽体内部设置有用于对硅片载具花篮进行干燥处理的加热装置,所述槽体设有连通槽体内腔的进气接口、抽气接口;所述翻转机构设置于所述槽体上并与所述槽盖连接,用于控制槽盖的开启和闭合。本实用新型的有益效果是:密封良好、占用空间小、使用寿命长,可以营造真空环境来烘干物料,防止空气中其他金属离子污染物料,满足后续生产工艺需求。
天眼查资料显示,无锡琨圣智能装备股份有限公司,成立于2016年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3150万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡琨圣智能装备股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息181条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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