北京
国家知识产权局信息显示，无锡翼盟电子科技有限公司申请一项名为“一种MEMS电阻制作方法”的专利，公开号CN121516813A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请提供的一种MEMS电阻制作方法，其在喷孔电阻的区域边缘位置，向远离电阻中心的方向设置小尺寸矩形作为缓冲区，干法刻蚀工艺会在金属层和发热电阻材料层的外部边缘刻蚀出角度很大的坡型，而设置了缓冲区的边缘位置基于湿法刻蚀工艺刻蚀后，金属层生成角度较小的坡型结构，两个不同斜角的坡型构成台阶状结构，则后续生成覆盖绝缘保护层时，缓冲区所在位置因为台阶状结构的存在所以有效避免了介质空洞的产生，有效地将可能产生介质空洞的区域限制在远离喷孔电阻中心的位置。
天眼查资料显示，无锡翼盟电子科技有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡翼盟电子科技有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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