北京
国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法”的专利，公开号CN121513539A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法，属于晶圆加工技术领域。一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备包括清洗模块，清洗模块包括框架、清洗腔、机械手、液路箱及分离箱，机械手设置于框架的上部，清洗腔设置在框架的中部，液路箱和分离箱均设置于框架的下部；分离箱顶部设有入口管，分离箱上部设有排气管，底部设有排液管，入口管延伸至分离箱内部的下部区域，分离箱的横截面积相比入口管的横截面积急剧增大，使气流降速、压损减小，避免分离箱失压导致液体反流污染晶圆的情况，分离箱采用小体积结构，避免占用框架外的空间，为设备的检修和维护以及晶圆的传输提供了更大空间。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目258次，财产线索方面有商标信息65条，专利信息790条，此外企业还拥有行政许可31个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
