国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“炉门装置及半导体热处理设备”的专利,公开号CN121520857A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本申请提供一种炉门装置及半导体热处理设备,炉门装置包括炉门外圈和炉门主体,炉门外圈用于与炉体连接,并配合所述炉体压紧炉体密封圈;炉门主体包括炉门内圈和炉门板,所述炉门内圈位于所述炉门外圈的内侧,并与所述炉门外圈密封连接,所述炉门板固定在所述炉门内圈的内侧,所述炉门板可在炉门外圈的轴向上产生弹性变形。炉门装置采用分体式结构,炉体密封圈设置在炉门外圈和炉体之间。炉门板为炉门主体的主要受热部位,炉门板在径向上的形变受到炉门内圈的约束。因而受热形变时,炉门板的形变主要向炉门主体的轴向上释放,减小了在径向上对炉门外圈的挤压,进而减小了炉门外圈的变形,降低了炉门外圈形变造成密封失效的风险。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1384次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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