北京
国家知识产权局信息显示，智慧星空（上海）工程技术有限公司申请一项名为“对准调平系统、对准调平方法及光刻设备”的专利，公开号CN121522976A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请公开了一种对准调平系统、对准调平方法及光刻设备，属于半导体设备技术领域。本申请中的对准调平系统包括：位于预对准位的预对准单元，进行基材的预对准；位于上片位的粗对准粗调平单元，分别进行基材的粗对准和粗调平，其中第一调平模块相较于第一对准模块更靠近基材；位于精对准位的精对准单元，进行基材的垂向高度补偿和精对准；位于曝光位的精调平单元，进行基材的精调平。通过在不同工位依次配置功能独立的处理单元，构建形成分步、递进式的对准调平系统，将对准与调平任务分解至各工序分步执行，避免了所有补偿操作在最终曝光位集中进行，能够在确保高对准调平精度的前提下，有效缩短工序耗时，达成提升光刻产率的根本目的。
天眼查资料显示，智慧星空（上海）工程技术有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析，智慧星空（上海）工程技术有限公司参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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