国家知识产权局信息显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司申请一项名为“对准调平系统、对准调平方法及光刻设备”的专利,公开号CN121522976A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请公开了一种对准调平系统、对准调平方法及光刻设备,属于半导体设备技术领域。本申请中的对准调平系统包括:位于预对准位的预对准单元,进行基材的预对准;位于上片位的粗对准粗调平单元,分别进行基材的粗对准和粗调平,其中第一调平模块相较于第一对准模块更靠近基材;位于精对准位的精对准单元,进行基材的垂向高度补偿和精对准;位于曝光位的精调平单元,进行基材的精调平。通过在不同工位依次配置功能独立的处理单元,构建形成分步、递进式的对准调平系统,将对准与调平任务分解至各工序分步执行,避免了所有补偿操作在最终曝光位集中进行,能够在确保高对准调平精度的前提下,有效缩短工序耗时,达成提升光刻产率的根本目的。
天眼查资料显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,智慧星空(上海)工程技术有限公司参与招投标项目40次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息93条,此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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