北京
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国家知识产权局信息显示，启迪原子私人有限公司申请一项名为“确定多等离子体状态工艺系统中谐振频率的以数据为导向的方法”的专利，公开号CN121523240A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种用于优化传输至等离子体工艺腔室的RF功率的系统及方法。本发明采用以数据为导向的方法来确定各种等离子体状态下的谐振频率，从而无需传统的PID控制。通过在执行工艺配方过程中收集RF功率发生器随工作频率变化的性能数据，并分析波形片段，所述系统持续识别各等离子体状态下的谐振频率。因此，所述RF功率发生器能够实时自适应以提供最佳稳定性和性能。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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