北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“气路控制方法、气路控制装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121496377A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种气路控制方法、气路控制装置及半导体工艺设备。该气路控制方法包括：获取作业模式的选择指令；启用与作业模式相对应的气路互锁条件，控制气路系统执行与作业模式相对应的任务。该气路控制装置包括：模式选择工具、上位机、控制器和执行件。该半导体工艺设备包括该气路控制装置。本发明实施例，能够保证相应作业模式下的故障分析、定位及排除的效率及准确性，简化了操作流程，保证了工艺效率及准确性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1382次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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