国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“MEMS麦克风及其形成方法”的专利,公开号CN121509883A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,一种MEMS麦克风及其形成方法,其中,MEMS麦克风包括:第一衬底,第一衬底内具有沿第一衬底的衬底表面开口的第一空腔,第一空腔的深度小于第一衬底的厚度;背极板,位于第一衬底的衬底表面并覆盖第一空腔的开口,覆盖第一空腔的开口处对应的背极板内具有第一声学透气孔;第二衬底,第二衬底内具有第二空腔,第二空腔的底部的第二衬底作为振动膜,第二衬底与第一衬底键合连接,第一空腔的开口与第二空腔的开口相对,并且,第二空腔与第一空腔之间通过第一声学透气孔连通,第一空腔和第二空腔共同构成气密性密封的参考压力腔。本发明改善了传统MEMS麦克风发生低频响应差、易受干扰和存在可靠性风险的缺陷。
天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息219条,此外企业还拥有行政许可180个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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