北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“CMP工艺的监测方法、半导体设备”的专利，公开号CN121510902A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种CMP工艺的监测方法、半导体设备。其中，所述CMP工艺的监测方法运用光学检测方法，实现对CMP工艺效果的高效检测。且在检测过程中，所述方法先采用MTD模拟量测点，并筛选出推荐光源；再采用套刻误差测量装置执行实际工艺验证，以选定目标光源。基于两级筛选后的所述目标光源能够使得量测点在正常CMP下和异常CMP下呈现出不同的图像灰度表现。因此，通过判定量测点中套刻标记的第一灰阶值和背景区域的第二灰阶值的比值，可以实现对CMP工艺异常与否的快速检测。所述方法无需破坏半导体结构，且检测结果精准，效率高，灵敏度高，利于实现对CMP工艺效果的监测。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目192次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息974条，此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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