北京
国家知识产权局信息显示，有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料（山东）有限公司申请一项名为“一种静电卡盘及其制备方法”的专利，公开号CN121510920A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种静电卡盘及其制备方法。本发明提供的静电卡盘包括陶瓷基体、连接层、基座、静电电极和加热电极；陶瓷基体与基座之间通过连接层连接；静电电极和加热电极埋设于陶瓷基体中，且在陶瓷基体中具有高度差；加热电极与陶瓷基体在25‑800℃下的热膨胀系数的差值的绝对值≤1ppm/℃，静电电极的体积电阻率≤10μΩ·cm，加热电极的体积电阻率≤50μΩ·cm。基座上设置有水道和气道；陶瓷基体、连接层、基座、静电电极和加热电极由包括氮化铝的原料制备而成，且通过一次压力烧结一体成型。本发明提供的静电卡盘具有强大且均匀的吸附力和高温度均匀性，且在各种工况下都能保持极低的变形量。
天眼查资料显示，有研亿金新材料有限公司，成立于2000年，位于北京市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本89681.828044万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目186次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息299条，此外企业还拥有行政许可51个。
有研亿金新材料（山东）有限公司，成立于2021年，位于德州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料（山东）有限公司参与招投标项目113次，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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