北京
国家知识产权局信息显示，光科芯图（北京）科技有限公司申请一项名为“激光光束特性实时监测系统”的专利，公开号CN121500687A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种激光光束特性实时监测系统，包括：激光光源、分束器一、照明系统和光源监测装置，分束器一将激光光源发出的激光光束分成两束，分别进入照明系统和光源监测装置；光源监测装置的分束器二接收分束器一的激光光束并将其分成两束，透射至功率计和反射至紫外相机进行激光光束的信息采集，并由中央处理器处理得到激光光束的特性参数信息；透镜能够选择性的出现在激光光束传输路径中，以使得紫外相机采集的图像为近场光束截面光斑图像或远场光束截面光斑图像。本发明解决了相关技术中激光光束特性监测系统监测时间和数据处理时间较长，无法快速对激光光束进行有效监测，确保激光光束参数满足曝光设计需求的问题。
天眼查资料显示，光科芯图（北京）科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本35555.55万人民币。通过天眼查大数据分析，光科芯图（北京）科技有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息104条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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