北京
国家知识产权局信息显示，上海现代先进超精密制造中心有限公司申请一项名为“一种光刻机电磁驱动式可动镜组及其光刻机”的专利，公开号CN121500689A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光刻机电磁驱动式可动镜组及其光刻机。一种光刻机电磁驱动式可动镜组，包括镜片、镜座、电磁悬浮导轨、磁铁滑块、气浮导轨以及气浮滑块；所述镜片安装在所述镜座上，所述镜座上安装有气浮滑块，所述气浮滑块滑动设置在所述气浮导轨上；所述电磁悬浮导轨内均布有电磁线圈，所述磁铁滑块与所述电磁悬浮导轨相斥，所述磁铁滑块安装在所述镜座上。电磁悬浮导轨内均布通有电流的线圈并在空间内产生行波磁场，磁铁滑块的磁场与导轨的磁场相斥，使磁铁滑块和电磁悬浮导轨产生斥力从而悬浮。
天眼查资料显示，上海现代先进超精密制造中心有限公司，成立于2006年，位于上海市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本17000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海现代先进超精密制造中心有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息145条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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