北京
国家知识产权局信息显示，北京华林嘉业科技有限公司申请一项名为“一种转运装置及边缘腐蚀机”的专利，公开号CN121510916A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种转运装置及边缘腐蚀机。转运装置包括水平滑座、机械轴、工装以及第二旋转驱动模组，其中：水平滑座装设于机体上；机械轴的上端和第二旋转驱动模组均装设于水平滑座上；工装包括容置框、夹板以及两个压板，容置框固设于机械轴的下端，容置框内用于沿第一中心线顺次叠放多片晶圆，容置框内每相邻的两片晶圆之间夹有一个夹板，两个压板用于夹紧容置框内的所有晶圆和所有夹板；第二旋转驱动模组被配置为驱使两个压板围绕第一中心线旋转。上述转运装置能够形成阻隔腐蚀液流向晶圆的中心区的物理屏障，提升晶圆的加工效率和腐蚀位置精度，还能够避免存在腐蚀盲区。
天眼查资料显示，北京华林嘉业科技有限公司，成立于2008年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华林嘉业科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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