技术新突破   海目芯微成功研制12英寸碳化硅单晶晶锭

在碳化硅产业高速发展的背景下，海目星子公司海目芯微持续推进技术创新，继实现8英寸碳化硅长晶工艺将缺陷率控制在稳定值以下后，近期再获重大进展——成功研制出直径12英寸的碳化硅单晶晶锭，标志着公司在6、 8、12英寸全尺寸长晶技术链上实现了全面自主可控。

*12英寸碳化硅单晶晶锭

海目芯微在实现8英寸晶体生长工艺稳定可控后，通过提升热场寿命、降低功耗，使长晶成本大幅降低。衬底尺寸的提升是推动产业规模化与成本控制的关键环节。同时，公司迅速聚焦于更大尺寸晶体生长技术的研发，通过对热场设计、分压、温度控制及生长工艺等关键环节的技术迭代，成功突破12英寸的生长技术瓶颈。

*12英寸碳化硅单晶晶锭

12英寸碳化硅晶体生长，其在晶体内部的热梯度和径向温度场更加复杂，内应力增加将严重制约大尺寸、高质量SiC单晶的制备。海目芯微依托自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺技术，通过创新性温场设计与晶体完整性控制迭代，有效保障了大尺寸晶体的稳定生长。本次制备的晶锭结晶质量优异、结构完整，充分展现了公司在核心技术与工艺上的双重突破。

*电阻式碳化硅长晶炉（前开门、上开盖）

此次技术突破是海目芯微在碳化硅领域持续投入的成果体现，展现了公司在技术创新和产业化推进方面的坚定步伐。海目芯微将针对长晶、衬底加工等核心痛点，突破技术壁垒，以持续的技术创新构建核心竞争力，推动企业持续发展。

HiMachines关于海目芯微

深圳市海目芯微电子装备科技有限公司(简称“海目芯微”)成立于2021年3月，是海目星激光(科创板：688559)的参股子公司。公司现已形成“一总部两基地”布局：深圳总部统筹研发与运营，成都、江西基地依托14000平米厂房保障设备高效量产。

海目芯微业务涵盖四大核心领域：显示面板超快激光装备系列、微米级光刻机装备系列、第三代半导体(SiC)装备系列及其它类激光装备系列，公司已通过ISO国际质量管理体系认证，并荣获国家高新技术企业、"专精特新"中小企业等多项资质认证。

公司以“持续为泛半导体行业设计和制造最先进的装备，帮助客户获得竞争优势和维持技术领先”为使命。坚持自主创新，深耕不辍，以卓越的产品与服务赢得客户信赖，成为行业首选品牌。

(海目星 动态宝)