北京
国家知识产权局信息显示，通快激光系统半导体制造股份公司申请一项名为“用于确定激光射束功率的装置和方法”的专利，公开号CN121488143A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于确定激光射束（14）的功率的装置（10）。通过第一子功率计（12a）确定激光射束（14）的第一子射束（18a）的功率，其中，激光射束（14）被分束成第一子射束（18a）和主射束（20）。装置（10）具有量热式功率计（22），量热式功率计具有用于吸收激光射束（14）的主射束（20）的射束阱（36），其中，量热式功率计（22）在激光射束（14）的射束方向上布置在第一子功率计（12a）之后。冷却系统（40）的冷却介质（42）用于吸收量热式功率计（22）的热能，热能因主射束（20）入射至量热式功率计（22）而产生。为了确定冷却介质（42）与量热式功率计（22）进行热能交换前和热能交换后的温差，量热式功率计（22）具有温度测量系统（58）。装置（10）的控制装置（62）设置成通过冷却过程中冷却介质（42）的测量值，量热式地求取主射束（20）的功率。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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