北京
国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质”的专利，公开号CN121468390A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质，属于化学机械抛光领域，该方法包括：获取化学机械抛光过程中晶圆表面的反射光谱；采用预设修正系数对反射光谱进行修正，得到修正反射光谱；基于修正反射光谱与对应阈值的比较结果，将修正反射光谱划分为暗噪光谱和待测光谱；基于待测光谱、暗噪光谱、参考光谱以及预设参考光谱反射率确定晶圆表面的反射率；利用晶圆表面的反射率确定晶圆厚度，以基于晶圆厚度检测抛光终点。本申请提升了终点检测的准确性。
天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目82次，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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