河北
微振控制是保障精密设备稳定运行、提升产品生产精度与质量的核心技术环节。在高精度生产环境建设中，需从源头开展系统化微振管控，形成从前期规划、结构设计到设备隔振、验收检测的全流程解决方案。
洁净厂房的微振控制工作需贯穿设计、施工、投产运行全过程，重点围绕建筑结构、动力设备、精密仪器三大核心对象，开展专项隔振设计与振动测试验证，构建完整的微振控制体系。
一、容许振动值控制要求
1.结合精密仪器与设备的自身运行特性，制定并落实综合隔振方案，确保实际振动水平满足规定的容许振动值指标。
2.精密设备与仪器的容许振动值，可采用振动加速度、振动速度、振动位移等物理量，在时域或频域内进行量化表达。
3.精密设备容许振动值优先由设备制造商提供；若无法明确，可参照相关规范附录或结合设备工作特性综合确定。
二、微振动控制设计要点
1. 分阶段振动测试与分析
微振控制设计需分阶段实施测试与评估，主要包括：
场地原始环境振动测试与分析
厂房建筑结构振动特性测试与分析
精密设备安装点位环境振动测试与分析
微振控制措施实施后最终效果测试与分析
2. 建筑结构设计要求
结构基础应坐落在动力性能优良的地基土体上，并具备足够的结构刚度。
微振控制专用结构体系宜独立设置，与主体建筑结构采取有效分隔措施。
梁、柱、墙体及基础等关键结构构件截面应适当加强，满足低振动控制要求。
3. 主动隔振措施
对高振动动力设备及配套管道，配置隔振台座及刚度匹配的隔振器。
洁净室区域内的管道系统，采用隔振支架、柔性接头等减振降噪构造。
4. 被动隔振措施
隔振平台应具备足够刚度，配套选用低刚度高效隔振装置。
隔振系统各方向阻尼比不宜小于 0.15，并进行水平与倾斜校正。
隔振设施布置不得干扰洁净室内正常气流组织与流型。
空气弹簧类隔振器的供气系统需经过净化处理，满足洁净室空气洁净度等级要求。
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