平湖企业的“天车”国产化之路

（来源：嘉兴日报）

转自：嘉兴日报

　　■记者 周佩佳 通讯员 邹亦婷

　　临近春节，华芯（嘉兴）智能装备有限公司的车间里依然忙碌不停，工程师们正在对一套今年3月即将交付给德国英飞凌的晶圆自动物料搬送系统（AMHS）进行最后调试。由于该系统是安装在生产线天花板上的，也被称为“天车系统”。

　　这看似普通的商业订单，对中国半导体行业却意义非凡：这是中国国内企业首次以自主研发的晶圆“天车系统”承接国际订单，一举打破国际垄断，一改只进口无出口的局面。而且这家平湖企业，还以第一完成单位的身份获得2024年度浙江省科学技术奖科学技术进步奖一等奖。

　　这条“天车”国产化道路，华芯智能已经探索了10年之久。

　　勇闯“天车”全栈自研之路

　　故事要回溯到2015年。当时，华芯智能的实际控股人在美国硅谷参加一个行业活动，敏锐察觉到半导体制造过程中晶圆搬运设备的技术壁垒和市场潜力。“当时全球能做这套系统的企业屈指可数，而国内尚属空白。”回忆创业初心，初创成员之一、华芯智能董事长助理吕海波感慨道。怀揣着技术报国的理想，首批硅谷工程师归国在上海组建团队。

　　由于投入大、回报周期长，在彼时的国内半导体行业里，连嗅觉灵敏的资本市场都不甚青睐。但华芯智能团队毅然选择全栈自研这条艰难的道路。“如果跟在别人的技术后面走，那就只能永远在别人后面了。”团队一致这样认为，而“内忧外患”让企业一度陷入困境。“最艰难时连续两个月发不出工资，令人欣慰的是团队30多人没有一人离开。”吕海波回忆“黎明前最黑暗”的那段时光时说道。

　　正是这份坚持，让企业在2019年迎来转机。当年，华芯智能成功向国内半导体封装行业领军企业——华天科技，交付了国内首套国产整厂晶圆搬运系统。这一系统，如同芯片工厂的“智能物流血脉”，实现了晶圆在高端产线中的高效、精准自动传输与定位。

　　此次交付，让华芯智能在业内引起广泛关注。而真正的突破发生在2021年。

　　随着公司规模扩大，亟需寻找更大的场地和空间，在多方考察衡量后决定迁至平湖。这个看似普通的选址决定，却成为企业发展的关键转折。“我们经常说这是与平湖的美丽邂逅，这里既能承接上海的外溢效应，又具备产业配套的优势。”吕海波说，“平湖恰好处在长三角半导体产业带的黄金节点。”

　　也是在这一年，华芯智能获得了一期1.5亿元融资，团队终于可以甩开膀子大干起来。

　　突出重围拿下巨头订单

　　搬迁到平湖后不久，华芯智能迎来高光时刻——拿下国内半导体行业翘楚长江存储的订单。

　　“在来我们公司之前，对方已经走遍了国内相关领域的企业，认为我们有可能实现他们的要求。”吕海波说。而这个“有可能”，又用了3个月来验证。长江存储的技术团队入驻华芯智能，用一轮轮的技术论证、方案研讨来确认可行性。当2021年12月订单正式签约后，长江存储也全程参与项目研发和推进。

　　对于长江存储来说，这是一个“事关生死”的订单。2022年底公司被美国列入实体清单后，加速国产替代是必然选择。华芯智能同样很清楚这个订单的重要性，全身心投入研发。“在此过程中，我们非常感谢长江存储给了我们国产设备验证的机会。”对于在未知领域蹚水过河的华芯智能来说，这是宝贵的经验，更是通往成功的星光。

　　半导体的精度要求非常高，产品良率要求也非常高，而与之相对应的对生产设备良率的要求更达到了极致。“晶圆制造的车间就像一座微型城市，而搬运晶圆所需的‘天车系统’就是连接数千道工序的‘智能交通网’，因此对‘天车’的效率要求是非常高的。”吕海波用生动比喻解释系统的关键性。

　　令人惊叹的是，在该自主创新系统中，华芯智能改变了以往“天车系统”的软件控制路径，创新性地引入互联网思维，增加了国内优势的互联网技术，将系统调度逻辑重构为“淘宝式智能订单处理”。“可以将其理解为一个高级‘淘宝系统’，不同端口‘下单’任务，后台进行精确判断‘配送’，最终以最高的效率确保订单点对点完成。”吕海波说。在该系统控制下，“天车”以最高5米/秒的速度运行，每天无差错完成20万到50万次的搬运。

　　另一方面，传统“天车”的升级检修需要停机操作，而每停机1小时的损失是以百万元计的。华芯智能不仅实现了6000至8000小时的无故障运行，还开创了行业内首个不停机升级方案，为客户大大节省了资金。

　　2024年12月，该系统成功交付长江存储，去年10月完成全部验收。这意味着华芯智能的国产设备首次进入芯片制造最核心的前道工序领域，打破了日本企业长期垄断的局面。可以说，华芯智能已经从最初的跟跑者成长为行业并跑者。

　　手握2024年度浙江省科学技术奖科学技术进步奖一等奖的荣誉，企业负责人心情激动。而随着今年3月和5月德国英飞凌两个订单的即将交付，企业2026年订单额预计突破3亿元，实现连续3年倍增。

　　这条从美国硅谷到平湖的创新创业之路，见证了中国半导体装备制造业的崛起。正如企业创始人所说：“我们选择最难走的路，是因为真正掌握核心技术，才能为国家半导体产业筑牢根基。”在这条充满挑战的征途上，华芯智能正以自主创新为笔，书写着嘉兴高端智造的新篇章。