北京
国家知识产权局信息显示，苏州首镭激光科技有限公司取得一项名为“晶圆退火设备”的专利，授权公告号CN223899621U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆退火设备，其包括机架、设于机架上的载台组件、激光组件及CCD组件，载台组件包括移动机构、在移动机构带动下进行移动的载台及罩设于载台上的氮气仓，晶圆设于所述载台上，氮气仓上设有透明镜片；所述激光组件位于载台组件的上方，激光组件包括第一激光器、第二激光器、将第一激光器及第二激光器出射光整合为一束复合光的复合镜片、调整复合光方向的第一光路组件及激光扫描头，所述激光扫描头位于所述透明镜片上方；CCD组件设于所述激光扫描头的一侧并与所述激光扫描头同步移动。如此设置，一方面提高了退火过程的效率和均匀性，另一方面，两个激光器能够同时或分别对晶圆进行退火处理，提供了更灵活的退火策略。
天眼查资料显示，苏州首镭激光科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州首镭激光科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目89次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息67条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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