北京
国家知识产权局信息显示，苏州瑞霏光电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆几何参数立式量测量方法及装置”的专利，公开号CN121475051A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆几何参数立式测量方法；包括：将待测晶圆以直立方式固定；基于晶圆载台上的对位标记的坐标，计算对位标记的圆心坐标，获得晶圆载台的初始几何中心；对待测晶圆的初始几何中心位置与晶圆载台的初始几何中心位置进行空间坐标误差计算，获得修正后的几何中心坐标；以修正后的晶圆的几何中心为测量的基准点，获取受测晶圆面向结构光源的一面的轮廓量测信息和厚度信息；基于获取的轮廓量测信息与晶圆的厚度信息，推导出晶圆另一面的轮廓量测信息。本发明可以减少重力对晶圆造成形变的影响，获得更加接近受测晶圆真实形貌的几何参数；通过获取晶圆面向结构光源一面的轮廓量测信息，推导出另一面的轮廓量测信息，满足晶圆两面检测的需求。
天眼查资料显示，苏州瑞霏光电科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1367.8769万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州瑞霏光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目27次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息49条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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