北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“轨道接口和衬底处理设备”的专利，公开号CN121488624A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种用于在轨道与衬底处理设备的处理单元之间交换衬底的轨道接口，包括：第一传送单元和第二传送单元，其被配置成将衬底沿对应的第一装载传送路径和第二装载传送路径从轨道经由一个或更多个衬底轨道接收站传送至处理单元和将衬底沿对应的第一卸载传送路径和第二卸载传送路径从处理单元经由一个或更多个衬底轨道卸料站传送至轨道，其中所述一个或更多个衬底轨道接收站中的每个被布置成从所述轨道接收衬底，并且其中所述一个或更多个衬底轨道卸料站中的每个被布置成将衬底排出至所述轨道，并且其中所述第一装载传送路径和所述第一卸载传送路径与所述第二装载传送路径和所述第二卸载传送路径分隔开。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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