北京
国家知识产权局信息显示，广东芯衡科技有限公司申请一项名为“基于多原理传感数据的三维表面形貌接触式探针系统”的专利，公开号CN121475042A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于多原理传感数据的三维表面形貌接触式探针系统，包括接触式探针单元、光杠杆传感器、电容传感器、纳米位移执行机构、信号融合处理模块和控制与反馈模块；接触式探针单元包括转轴和固定于转轴近端的探针；光杠杆传感器中的反射镜与激光二极管、四象限光电探测器形成光照射并反射至四象限光电探测器闭环；纳米位移执行机构控制转轴三维方向位移；电容传感器通过转轴远端与固定电极间的电容变化检测转轴的偏转量；信号融合处理模块通过对两个传感器输出信号进行融合后输出至控制与反馈模块，控制与反馈模块驱动纳米位移执行机构对转轴进行调整。本发明实现了高分辨率、宽量程和高稳定性的三维表面测量。
天眼查资料显示，广东芯衡科技有限公司，成立于2025年，位于广州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，广东芯衡科技有限公司专利信息1条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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