北京
国家知识产权局信息显示，山西中电科电子装备有限公司申请一项名为“碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法”的专利，公开号CN121466728A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法，属于第三代半导体材料制备及资源回收领域；解决了解决现有碳化钽涂层制备工艺中，未参与碳化钽涂层反应的五氯化钽粉料随工艺气流被排出，导致五氯化钽粉料资源浪费的技术问题；技术方案是：该系统包括前级过滤器：用于过滤除五氯化钽气体之外的工艺气体，冷凝收集器：用于从前级过滤器排出的五氯化钽气体冷凝为固态五氯化钽粉料并回收，冷凝收集器的第二进气口与前级过滤器的第一出气口相连通，冷凝收集器的第二出气口通过气动阀门组与前级过滤器的第一进气口、炉体的排气口均相连通，冷凝收集器的第二出气口还连接有真空泵；本发明应用于碳化钽涂层工艺。
天眼查资料显示，山西中电科电子装备有限公司，成立于2010年，位于太原市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本39040万人民币。通过天眼查大数据分析，山西中电科电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目66次，专利信息166条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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