北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“闸阀组件、反应器系统以及执行并行操作的方法”的专利，公开号CN121487529A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，公开了闸阀组件、包括闸阀组件的反应器系统以及在闸阀组件内执行并行操作的方法。所公开的闸阀组件包括闸阀块主体，其配置成用于接收第一密封构件和第二密封构件。所公开的反应器系统包括后端转移模块、处理模块和闸阀组件，闸阀组件包括第一密封构件和第二密封构件。所公开的在闸阀组件内执行并行操作的方法包括转移衬底通过闸阀组件内的贯通部，同时感测衬底的一个或多个性质。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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