国家知识产权局信息显示,昇澜半导体(常州)有限公司申请一项名为“高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法、压电薄膜制备方法及制备装置”的专利,公开号CN121463719A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法、压电薄膜制备方法及制备装置,所述高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法包括:将基底、镧金属靶材以及铌元素掺杂的锆钛酸铅基靶材置于同一反应腔室内;在氩气与氧气混合气体氛围下对所述锆钛酸铅基靶材进行溅射,以及对所述镧金属靶材进行蒸镀,以在所述基底上形成压电层,其中,对所述镧金属靶材进行蒸镀的过程中,调控镧金属蒸汽的挥发速率和/或沉积速率,以对压电层进行不同浓度的镧元素掺杂的原位调控。本发明能够提高压电薄膜的压电性能、电光调制性能以及对PLNZT薄膜中的掺杂元素含量进行原位定量梯度调控。
天眼查资料显示,昇澜半导体(常州)有限公司,成立于2023年,位于常州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本379.953751万人民币。通过天眼查大数据分析,昇澜半导体(常州)有限公司共对外投资了2家企业,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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