北京
格隆汇2月5日丨恒运昌(688785.SH)近日在接待机构投资者调研时表示，公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、等离子体激发装置(远程等离子体源、射频离子源)、等离子体直流电源、配件(滤波器、阻抗调整器等)，引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件，同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司已构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。
历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。
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